集成电路测试系统

用于超大规模集成电路的功能测试

集成电路测试系统

产品简介

集成电路测试系统

FORMULA® HF3 平台测试系统有两个型号: FORMULA® HF3 和 FORMULA® HF3512,都是用于多种高速超大规模集成电路的功能测试,包括:微型控制器、静态和动态存储、超大规模集成电路母片(master slice)、ASIC、FPGA等,信号输出高达256/512,工作频率高达200MHz。

 

应用范围

FORMULA  HF3 测试系统是一套用于测试超高频率超大规模集成电路的功能和参数的自动测试设备。

用于超大规模集成电路的质量控制、新开发的超大规模集成电路品种的测试和研究以及系列产品的生产监控。

FORMULA HF3 测试系统能满足微电子领域的计量测试标准。

 

FORMULA HF3 平台测试系统的基本技术特性和功效

FORMULA HF3 平台测试系统是为了可靠测试多种大规模集成电路而研发出来的。

这个测试系统的关键技术特性,由下列数值确定:

● 通用双向通道数——高达256/512.

● 功能测试频率——每个通道高达200MHz。

● 矢量/误差存储——高达64 М/64 М。

● 总体定时精度(OTA)——不超过±700皮秒。

FORMULA  HF3 测试系统是测量超大规模集成电路用的功能完善的自动测试技术,提供:

● 完善的测试测量设备。

● 测量全过程和数据管理自动化。

● 自动探针、带有自动装料、测试设备和仪器的操作模式。

● 高容量多点模式。

● 全昼夜连续可靠工作。

● 方便用户的全功能软件。

● 测量配件快速互换。

● 自动诊断和计量校准。

FORMULA 测试系统具有模块化常规结构,可以根据测量范围和测试任务,选配主要和次要的配置。

参数测量子系统包括:(子系统用于再现并测量静态电气参数,具有下列特点)

●四段信号范围,包括差动信号,电压范围–1.5 V 到 +13 V,每个通道独立。

●测量来源范围 

范围

来源

数量

0…+6 V; ±250 μA … ±4 А

VCC 测量功率源

8/16

–2…+15 V; ±200 nA … ±400 mA

VDD 测量功率源

8/16

–2…+13 V; ±200 nA …±150 mA

多通道表

8/16

–2…+11 V; ±2 μA … ±32 mA

单通道表

256/512

单通道PPMU的使用,能对基体上或外壳内微电路,进行多点模式平行高速测试。

每个32通道针电子模块的高压“32通道”有高达15V的电压,可用于FLASH和ROM编程,以及用于操作放大器和比较器等的测试。

这个测量超大规模集成电路动态参数的精确子系统,能测量一个信号的传播延时、脉冲延时、头尾边际,以及超大规模集成电路的其它暂态特征,精度基于下列特征确定:

● 输入脉冲下降沿(IEPA)±150皮秒。

输出脉冲下降沿(OEPA)的测试±250皮秒。

总体计时精度(OTA)±700皮秒。

脉冲上升沿和下降沿的周期(700±150)皮秒。

最小脉冲宽度(1.65±0.05)纳秒。

时间标记设定增量是34皮秒。

这个子系统是基于自动测试设备的通用测量通道。


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